4”/6”标准圆形晶圆全自动匀胶机LED Coater System

ATOM 6500C
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产品功能

由盒站、对准、传送、匀胶、热处理、化学品供应、排液系统以及控制模组组成,
藉由图形化操作介面,自动控制完成4/6寸标准晶圆基片匀胶工艺

主要应用:
● 晶圆尺寸: 4” , 6”
● 适用材料: 硅片、蓝宝石
● 适用工艺(应用): LED PSS & Chip Photoresist Coater

产品特色

  • 配备三牙叉高速机械手臂,优化工艺次序,提高效率
  • 先进的光刻胶节量技术,且涂胶均匀
  • 全自动控制,工艺稳定,>180片/小时
  • 占地小,节约超净间费用

客户实绩

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