LED高密度电浆蚀刻机 PSS Etcher

EP380-T

产品功能

利用感应式射频电源与通入反应气体产生的电浆,对材料,例如: 三氧化二铝、光阻等进行干式蚀刻。可用于整批式2”, 4”, 6”晶圆干蚀刻制程。

主要应用:
● 晶圆尺寸: 2”x26片, 4”x8片, 6”x3片
● 适用材料:蓝宝石晶圆(衬底)、光阻层、氮化镓、一般屏蔽层(Mask)等
● 应用工艺:LED PSS & Chip Dry Etch

产品特色

  • 高密度等离子体,刻蚀速度快
  • 匀流设计保证刻蚀均匀性<±3%
  • 芯片温度可控,工艺灵活性强
  • 每批8片4寸芯片,生产效率高
  • 全自动控制,稳定可靠,重复性好

客户实绩

TOP