聚昌科技所生产的全自动匀胶/显影系统，适用于4/6寸标准晶圆基片匀胶/显影工艺的设备。该设备主要由盒站、对准、传送、匀胶(显影)、热处理、化学品供应、排液系统以及控制模块组成，藉由图形化操作接口，自动控制进行晶圆匀胶/显影工艺；也可经由CIM系统进行远程自动化生产管理。整机采用不锈钢烤漆框架结构。本机具有多项独特设计来对应4/6寸标准晶圆基片涂布工艺生产

聚昌科技生产的蚀刻机感应式耦合高密度电浆干式蚀刻机（Inductively Coupled Plasma Etching）,是应用于LED生产线的大产能蚀刻设备，满足蓝宝石衬底图形化蚀刻（PSS）等LED领域蚀刻制程,应用了AST聚昌科技在IC蚀刻机上的成熟技术，采用独特设计的高密度电浆源，实现了对电浆密度和能量的精确控制，满足各种PSS 蚀刻制程的要求

聚昌科技PEVA系列高阶精密电子束蒸镀系统乃是针对Power IC ( Ti/Ni/Ag )、LED (Ti/Ni/Cr/Pt/Au ) 及MEMS等之金属电极、透明导电膜(ITO)与光学膜(SiO2/Ti3O5)所设计的批式量产设备，拥有独特的蒸镀反应室设计，可以提供更高的产能，与更为精准、更可靠的制程需求